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Theses

SL-DRT-24-0356

Publié le 7 décembre 2023
SL-DRT-24-0356
DomaineMatériaux et procédés émergents pour les nanotechnologies et la microélectronique

Domaine-S

ThèmeDéfis technologiques

Theme-S

Domaine de recherche
Matériaux et procédés émergents pour les nanotechnologies et la microélectronique Défis technologiques DRT DPFT SPAT LGRA Grenoble
Intitule du sujet
Procédés de gravure séche innovants de matériaux exotiques
Résumé du sujet
Les propriétés avantageuses (electro –optiques, - acoustisques, -mécaniques) de nouveaux matériaux comme l’ALN dopé Sc, le LNO, le LTO ou le KNN les rendent incontournables pour répondre aux besoins d’évolution de l’optique intégrée, les télécommunications (RF) et les microsystèmes. La réalisation de motifs aux dimensions submicroniques avec une vitesse d’attaque suffisante (>100nm/min), un profil de gravure vertical et une rugosité réduite des flancs sont les objectifs majeurs du travail de thèse pour satisfaire les critères de performances des dispositifs ciblés au niveau applicatif.
Formation demandée
Master 2 science des matériaux Direction de la Recherche Technologique
Informations
Département des Plateformes Technologiques (LETI) Service des procédés de Patterning Laboratoire Gravure
Université/école doctorale
Université Grenoble Alpes Electronique, Electrotechnique, Automatique, Traitement du Signal (EEATS)
Directeur de thèse
DRT/DPFT
Personne à contacter par le candidat
CAMPO Alain CEA DRT/DTSI/SPAT/LGRA CEA GRENOBLE 0438782810 alain.campo@cea.fr
Date de début souhaitée09/01/2024

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